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还原炉变压生产多晶硅

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发表于 2009-4-16 11:28:03 | 显示全部楼层 |阅读模式
钟罩式还原炉生产多晶硅
变压生产有什么好处吗
原理呢
就是刚启炉时低压
然后再逐渐提压
从物料方面,生产速率方面·····
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-4-17 08:31 编辑 ]
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发表于 2009-4-16 15:39:06 | 显示全部楼层
好处很明显:可以提高混合气进气量,缩短生产周期,提高多晶硅的产量。
但是问题又有了:硅棒上端,特别是内圈的硅棒上端出现的“玉米状”也厉害。同时也增加了生产的危险性。
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 楼主| 发表于 2009-4-16 23:08:06 | 显示全部楼层
能不能说的详细点呀
为什么缩短生产周期
为什么提高多晶硅的产量
为什么会长“玉米状”
为什么增加了生产的危险性
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