多晶硅生产过程有哪些工艺及设备联锁？

发表于 2009-4-16 09:47:38

求助，在多晶硅的生产工艺过程中，一般会设置哪些工艺联锁或设备联锁？

发表于 2009-4-16 15:33:11

还原炉供电启停，水系统泵、阀，制氢系统装置开停，进料阀、泵，尾气阀，可燃有毒系统与排风机的联系，其它子系统内部联锁，回路控制联锁。

发表于 2009-4-17 21:35:40

还原炉压力突然升高，系统导热油，循环水停，氢气压力超高，主要在系统安全，环保这块

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