多晶硅24对棒生产控制

发表于 2009-4-17 20:53:11

请问谁有24对棒的生产经验，可否指教一二啊

发表于 2009-4-17 22:38:36

和9对和12对棒的一样哈

发表于 2009-4-18 23:08:33

起炉容易倒炉，快停炉容易裂棒。
除了产量大，缺点很多。现在考虑更换硅芯，保证产量，尽量长粗，防止倒棒。
现在还是实验阶段，没有进行加压处理，是12对棒的两倍时间，单位增长速率一样。
石墨卡座、电极四氟套、窥视孔都还需要进一步改造

发表于 2009-4-20 23:58:18

二十四对棒就是十二对棒的加大版呀，缺点比较多，倒炉几率是十二对棒的二倍。

发表于 2009-4-21 10:55:14

大家觉得倒炉的原因有哪些呢？
除了开始和开炉时刻易倒，中间倒会出现在什么阶段？

发表于 2009-4-21 12:51:57

首先进气孔的分布需要作调整
是气流均匀的进入炉内
这样硅棒均匀生长
防止硅棒较小时就倒棒
当然棒数越多、越难控制

账号		自动登录	找回密码
密码			立即注册