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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 什么物质除氯硅烷最快
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什么物质除氯硅烷最快

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发表于 2009-4-2 14:14:37 | 显示全部楼层 |阅读模式
什么物质除氯硅烷速度最快？可以在和短的时间里除去氯硅烷，望各位高人指点
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发表于 2009-4-2 15:46:14 | 显示全部楼层
不知道你要在哪里除去氯硅烷，用水可以吗？
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 楼主| 发表于 2009-4-3 08:21:48 | 显示全部楼层
不能用水洗，其他的什么都可以，前提是短时间除去
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发表于 2009-4-3 12:30:45 | 显示全部楼层
不知道是什么物料，用激冷的办法可以吗？
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发表于 2009-4-3 18:00:52 | 显示全部楼层
讲详细点，具体技术要求是什么。
除到多少？留下什么？
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 楼主| 发表于 2009-4-4 11:27:40 | 显示全部楼层
主要是氯硅烷气体，不能用水洗
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发表于 2009-4-20 14:31:37 | 显示全部楼层
直接加压深冷
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