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还原炉内壁有淡黄色物质

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发表于 2009-3-13 11:00:01 | 显示全部楼层 |阅读模式
请高手指教,还原炉内壁为何会有淡黄色物质?如何形成的?如何清洗?
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发表于 2009-3-13 17:43:47 | 显示全部楼层
几种物质混合在一起的,也说不清楚其主要成分,但是易燃易爆
还原炉内各部位的温度不同,所以发生的反应也不一样
用纯水清洗,再吹干
下面有一些关于这方面的讨论
https://bbs.hcbbs.com/thread-395192-1-1.html
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发表于 2009-3-14 16:29:05 | 显示全部楼层
具体是什么不太清楚,不过应该是多种混合物,并且易燃

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发表于 2009-3-15 11:37:28 | 显示全部楼层
硅卤化合物,易燃易爆,不能敲击,最好用百分之三十的碱液清洗
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发表于 2009-4-23 16:57:37 | 显示全部楼层
少量时不需要清洗,可以阻止钟罩杂质向炉内扩散,提高硅棒质量;大量存在时,才需要清洗
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发表于 2009-4-25 13:37:46 | 显示全部楼层
有黄色物质产生应检查一下还原炉有没有漏点  或者对黄色物质做分析,确定是什么
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