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多晶硅炉进气喷嘴

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发表于 2009-3-13 16:49:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
相信大家看到过类似事情,硅棒倒伏后,部分硅渣进入多晶硅炉进气喷嘴中,从而堵塞了进气孔,我公司这段时间一直都有这种情况!大家讨论下,进气喷嘴该如何设计,才能防止类似事情那?或是在原有基础上,该采取怎样的措施那?
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发表于 2009-3-13 17:25:53 | 显示全部楼层
喷嘴以下几厘米处内衬不锈钢网,网孔比较大都可以,只要保证大的硅渣不掉下去
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发表于 2009-3-15 11:41:45 | 显示全部楼层
那对进气没有影响吗
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发表于 2009-3-16 16:48:13 | 显示全部楼层
原帖由 南希 于 2009-3-15 11:41 发表
                                
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那对进气没有影响吗

阻力是有点,但是影响很小,因为在喷嘴以下几厘米处,所以混合气不会发散
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发表于 2009-3-19 15:32:28 | 显示全部楼层
那还不如用突出不锈钢网 这样倒下的也堵不了管口
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发表于 2009-3-19 15:39:44 | 显示全部楼层
可以在前面加Y型过滤器
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发表于 2009-3-19 15:59:07 | 显示全部楼层
在原有设备上进行改进的效果是不会很好的,似乎也只能加过滤网,网格比较大的就行,大颗粒碎块不掉落就行。
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发表于 2009-4-29 22:27:34 | 显示全部楼层
对气流还是会有影响的
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