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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › 硅棒疏松

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硅棒疏松

发表于 2009-5-6 23:34:23 | 显示全部楼层 |阅读模式

什么样的工艺条件会使得硅棒长的疏松

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发表于 2009-5-7 11:20:19 | 显示全部楼层

a.还原炉内部温差；b.进气量的大小及时间

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发表于 2009-5-7 13:10:06 | 显示全部楼层

主要是温度过高
温度很重要也很难控制

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楼主| 发表于 2009-5-8 09:03:11 | 显示全部楼层

大家不要给这种比较模糊的答案
能不能深入点

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