STC和TCS的一次转化率

发表于 2009-5-4 11:49:16

在还原工序的沉积反应中，三氯氢硅发生反应的量占总量的多少，其中主反应生成硅所消耗的三氯氢硅占总量的多少，占反应量的多少？那位大侠知道啊？
如果涉及保密，给个大概值也行啊。

发表于 2009-5-6 11:07:39

转化率布高得只有tcs20%

发表于 2009-5-6 14:03:07

不高，一般到了18%就很不错了

发表于 2009-5-6 15:15:08

瞎说，一般还原转化率也就15%

发表于 2009-5-9 09:11:24

大家所说的15%或18%是指还原反应中反应掉的TCS吗还是主反应消耗的？

账号		自动登录	找回密码
密码			立即注册