多晶硅用氢气的提纯问题？

我单位即将上马一套多晶硅，氢气需要达到6个9的纯度，氢气用电解水获得，我想问大家，通过什么方法才能实现这个目的？我从资料上了解到用钯合金的效果很好。我自己以前搞过PSA提纯氢气，不过纯度只有4各9，不知道通过PSA能实现6个9吗？
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-2-13 09:11 编辑 ]

水电解氢气主要杂质是氧和水，可以用一套氢气纯化装置，通过钯触媒脱氧、分子筛变温吸附脱水，达到6N没有问题。
关键是多晶硅生产对氢气中的微量氮气是否有要求？
要除氮气，需要采用低温吸附的方法，或者采用金属氢化物纯化的方法。

对氮气也有一定的要求，数值我现在我也没有拿到，但不像氧气和水分要求哪么严格！

第一步通过钯触媒脱氧、第2步用5A分子筛变压吸附脱水并同时脱氮。可以制得6个9的[wiki]电子[/wiki]级纯氢的。

我们刚做过一套氢气净化装置，用于多晶硅生产：
HC300/0.65氯碱电解氢气净化装置
一．        原料气
氯碱电解氢气
纯度：H2≥99.5[wiki]%[/wiki]
O2≤0.5%
H2O饱和
压力：正压
二．        产品气
流量：300 Nm3/h
压力：0.65 MPa（G）
纯度： O2≤1 ppm
       [wiki]露点[/wiki]≤-70℃ D.P.

谢谢大家指导！ XCSQTZ 你能具体介绍一下吗，我们工艺还处于设计院阶段，现在基本什么资料都没有，我的邮箱valiantman@gmail.com,谢谢啦

6个9的氢气完全没有问题,再高一引起的氢都可以做到,只是收率高低而已,但是变压吸附用于多晶硅,要考虑到产品氢气中的杂质这才是比较关健的问题

一般电解纯水得到的氢纯度可以达到99.6%以上,需要脱氧和除水.
    四楼的工艺路线

请问贵公司在什么地方？
现在全国上马多晶硅的项目很多，多晶硅价格也就这几年可以，估计3-5年后就要下滑，贵公司是不是也用的改良西门子法？

在江西啦，不过要到明年才能投产那；都是西门子法