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多晶硅反应三氯氢硅堵塞管路

发表于 2009-5-20 12:11:09 | 显示全部楼层 |阅读模式

如何解决多晶硅反应中三氯氢硅堵塞管路的问题？请大家给点建议，谢谢。

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发表于 2009-5-20 15:39:52 | 显示全部楼层

楼主说的是精馏还是还原？

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楼主| 发表于 2009-6-4 16:52:33 | 显示全部楼层

是在还原的时候堵得，有何建议？

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发表于 2009-6-5 10:56:39 | 显示全部楼层

管路上增加加热保温装置

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发表于 2009-6-5 10:56:51 | 显示全部楼层

管路上增加加热保温装置

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发表于 2009-6-5 15:53:11 | 显示全部楼层

官道上加保温装置

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发表于 2009-6-5 23:17:06 | 显示全部楼层

是气态三氯氢硅还是液态？气态可以采用电伴热。

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发表于 2009-6-6 09:19:26 | 显示全部楼层

一定要在管道上加上加热保温装置，不然被堵了的后果大家都知道吧？只能拆了此管道了

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