四氯化硅

那位大侠知道，在多晶硅生产过程中，产生的大量的四氯化硅是这么分离出来的！
是在反应炉后面吗 ？

看看下面，有过讨论
https://bbs.hcbbs.com/viewthread.php?tid=74006

不是的。
其实还原炉产生的SiCl4和没反应的SiHCl3一起由CDI回收后是氯硅烷的混合液。送到精馏工段经过精馏分离出来，再送到氢化工段将其氢化，这样达到SiCl4循环利用。
SiCl4的分离就是利用不同物质在相同压力温度时，其沸点不同，从而沸点高的从精馏塔底部流出，沸点低的从精馏塔的顶部流出。

还原炉中产生的四氯化硅与未反应的物料一起去进行尾气回收，分离出来的四氯化硅、三氯氢硅等液体回精馏提纯分离再回还原。