西门子生产多晶硅，进料量（三氯氢硅和氢气的混合气）怎么控制才合理

发表于 2009-6-23 01:45:08

西门子生产多晶硅，从高压击穿到停炉过程中，进料量应该如何控制？是不是应该根据不同得配比和压力来控制进料？

发表于 2009-6-23 10:08:13

总体原则：依据还原设计压力、温度等条件选择相应参数
（1）进料量随着硅棒直径增大而增加
（2）进料组分（氢气与三氯氢硅摩尔比）具有相同的设置

发表于 2009-6-23 19:21:50

有专家能稍微透露点关于混合气量的具体数值吗？刚启动时开多少？在运行多少时间后开到最大？最大开多少？停炉前多少？

发表于 2009-6-24 00:53:18

这个应该还没有具体的参数
根据硅芯的生长速度来调整
刚开始
沉积过快
容易倒棒

发表于 2009-6-24 08:28:59

刚开始进料，料量要小一些啊，看硅芯经线

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