多晶铸锭炉粘锅问题大讨论

最近一段时间以来，多晶铸锭炉在生产过程中杂质层总是有一些粘锅，而且石英坩埚上面脱落的氮化硅也不是片状而是粉末状的，我们从坩埚喷涂方式、氮化硅的用量、烧结温度和时间都做过些修改和尝试，但总是无法彻底解决粘锅的问题，而且硅锭在破方的探伤检测过程中偶尔出现裂纹，影响了产品质量。有没有高人提供其他的参考意见，其他造成粘锅的原因。

硅料在融化段的温度可能控制的不好，融化时间不能过短，全部融化以后还好再继续在那个温度下运行大概1.5个小时以后再进行生长阶段，时间也不能太长，防止氮化硅涂层被硅料渗透。

要提高一下喷涂合格率咯。
出现裂纹的问题看看 退火工艺。（没有粘锅的情况下）