石墨底座上的不明物质

发表于 2009-4-20 19:43:35

在正常运行的炉子里
有时可以看见
石墨底座上有白色的薄膜状物体飘起
时间长、气量大后
薄膜吹离底座
沾到硅棒上影响了硅棒的质量
这种白色的薄膜是什么呀
[ 本帖最后由 wulffor 于 2009-4-21 10:22 编辑 ]

发表于 2009-4-25 12:09:02

确定下你说的膜是在石磨上产生的还是在炉壁产生后飘到石磨上的
如果是石磨直接产生，你检查下电极底盘什么的是不是漏水可能是二氧化硅
如果是炉壁产生的，你控制下炉壁温度，有可能是镜装硅

发表于 2009-4-26 09:33:01

是石墨上面飘下来的
看的很清楚的

发表于 2009-5-1 11:35:20

应当是聚合产物引起的。
例如硅氧烷或其它产物聚合干燥后会形成薄膜状物体。
个人观点，不一定正确。

发表于 2009-6-30 20:31:32

我们也遇到过这种情况，不过是从还原炉上面飘下来的，跟下雪似的，底盘上落了一层，主任说那是二氧化硅

账号		自动登录	找回密码
密码			立即注册