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多晶硅的生产过程中还要用到“质量流量计”吗?

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发表于 2009-1-16 11:59:55 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位老大,请问多晶硅的生产过程中还要用到“质量流量计”吗?不知用在什么环节?谢谢!!
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发表于 2009-1-16 21:38:54 | 显示全部楼层
多晶硅生产要用质量流量计的,我们就用科里奥利式质量流量计和热式质量计。主要用在TCS和氢气的流量的控制中。
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发表于 2009-1-17 11:30:50 | 显示全部楼层
现有装置都有用质量流量计的,但从使用效果来说一般般,还不如体积来的准确,控制方面也不如体积流量计。
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发表于 2009-1-17 12:13:40 | 显示全部楼层
质量流量计多数用在计量方面的多.
一般控制没有必要采用--主要是价格方面的原因
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发表于 2009-1-17 13:19:26 | 显示全部楼层
质量流量计价格太高了,效果也不是很理想,能不用尽量不要用。
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发表于 2009-1-17 14:39:21 | 显示全部楼层
多晶硅生产中用的都是质量流量计。
质量流量计可以自动校正压力和温度,方便操作,便于控制。
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发表于 2009-1-20 09:01:24 | 显示全部楼层
我们这里也用很多的质量流量计
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发表于 2009-1-20 09:22:52 | 显示全部楼层
流化床和固定床应该对流量计有不同的要求吧!
希望了解不同流量计的型号和参数!

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发表于 2009-1-20 21:42:15 | 显示全部楼层
原帖由 5izw 于 2009-1-17 11:30 发表
                                
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现有装置都有用质量流量计的,但从使用效果来说一般般,还不如体积来的准确,控制方面也不如体积流量计。

怎么可能!能具体说一下吗?

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发表于 2009-1-22 00:15:46 | 显示全部楼层
其实是哪种流量计都不太好使,不仅仅是质量流量计
容易卡住
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