三氯氢硅硼含量的控制问题讨论

发表于 2009-6-8 08:19:24

目前多晶硅厂家对三氯氢硅厂家中的硼含量控制很严，大部分厂家都要求在50-100PPb级别，但是三氯氢硅厂家基本都是一个精馏塔，新上的也只是增加了一个除轻杂质的精馏塔，可是目前来看效果也不是很理想。含硼至少在400ppm，请问各位有没有除硼的好办法?再者谁知道多晶硅厂家对三氯氢硅的质量要求有多少？

发表于 2009-6-8 10:37:43

以前市场好都是来者不拒只要是三氯氢硅就行，现在这个形式下多晶厂家要求三氯氢硅的纯度当然越高越好，一般控制在50ppb以内才能保证多晶的纯度和质量，所谓控制好源头。据所知，三氯氢硅厂家可以上间歇塔或者两级精馏，排低沸物已达到除硼的目的，但是必须将低沸物水解除掉而不是循环利用，是可以达到多晶厂家对纯度的要求的。

发表于 2009-6-8 10:48:49

多晶硅厂对买来的三氯氢硅还要进一步提纯的呀........
好像也是多级精馏的串联和并联，不知道文献中提到的其它一些方法到底有没有实现工业化的

发表于 2009-6-8 11:39:13

基本上是二级精馏，一级排低沸物，二级排高沸物。

发表于 2009-6-9 08:25:38

有没有知道那个厂家排低沸物效果特好的，据我所知，硼不是那么好排的，请高手指教

发表于 2009-6-9 08:47:22

对三氯氢硅生产厂家的精馏塔数不是很清楚，但多晶硅厂家的精馏一般都是五级，对除去B等效果还可以。

发表于 2009-6-9 09:08:07

Bcl3属低沸物，只要精馏操作好，可除去绝大部分

发表于 2009-6-9 09:36:23

Bcl3属低沸物，只要精馏操作好，可除去绝大部分
charles618 发表于 2009-6-9 09:08

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但就是那一少部分，如何除去是关键

发表于 2009-6-9 09:08:00

现在厂家对硼的要求很严，如何最大限度的出去硼的，请发表

发表于 2009-6-11 07:56:37

用填料塔效果有点好

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