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关于如何清洗硅芯表面油污的方法和试剂

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发表于 2009-7-16 15:25:17 | 显示全部楼层 |阅读模式
关于如何清洗硅芯表面油污的方法和试剂
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发表于 2009-7-17 10:38:47 | 显示全部楼层
HF+HNO3   可以使用超声波清洗
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发表于 2009-7-19 11:05:06 | 显示全部楼层
先碱洗，再酸洗。酸一般用2楼说的HF+HNO3
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发表于 2009-7-21 16:31:48 | 显示全部楼层
koh   HF+HNO3  超声
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