请问气体在线分析仪表用在多晶硅生产的那里?

发表于 2009-7-25 09:14:53

请高手给与解答谢谢了·~~

发表于 2009-7-25 11:49:15

还原、氢化炉反应尾气管线上

发表于 2009-7-25 13:55:48

还原、氢化炉反应尾气管线上
zhouqm 发表于 2009-7-25 11:49

登录/注册后可看大图
那一般都测什么组分的气体呢？能不能具体点？

发表于 2009-7-25 11:49:00

一般也就是各种氯硅烷还有氯化氢的含量了..........

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