多晶硅生产中的问题

发表于 2009-7-20 20:33:05

大家都知道，多晶硅生产中的回收部分就是把反应尾气回收利用，最经典的技术莫过于CDI技术。
其中有一部分是用氯硅烷液体吸收氢气中的氯化氢气体，一般操作压力是0.8MPa,-50摄氏度。
请问有关同仁：
1.如果吸收液用单纯的三氯氢硅或者四氯化硅会更好还是不好？吸收液用三氯氢硅、四氯化硅、氯硅烷哪个更好？为什么？
2.如果操作压力增大或者减小有什么影响？如果操作压力为0.6MPa，相对于0.8MPa时吸收率降低到多少？

发表于 2009-7-20 22:20:14

对问题1.用氯硅烷而不用纯四氯化硅或三氯氢硅，是工艺需要，目的是回收利用三氯氢硅，用纯三氯氢硅要循环去长硅棒。至于纯的三氯氢硅或四氯化硅对HCL的吸收效果是否比氯硅烷好，我就不晓得了。
建议把它发到多晶硅板块去。

发表于 2009-7-21 09:17:13

1.吸收液用四氯化硅更好。但由于正常生产时不能保证纯度（回收液为氯硅烷），所以一般只开车时为四氯化硅，后就成氯硅烷了；
2.如操作压力增大对吸收是有益的，具体压力下吸收率数据我也不知道。

发表于 2009-7-22 20:00:05

其实-40就可以啦！公司保密数据，加分

发表于 2009-7-23 12:08:38

1.吸收液用四氯化硅会更好。2.操作压力增大对吸收更有益。但对氯硅烷吸收HCL来说差距不大，即0.6MPa相对于0.8MPa变化不大。

发表于 2009-7-24 18:20:22

its good

发表于 2009-8-1 22:09:26

谢谢楼上各位的赐教！
给你们加分了
今天只能加这么多了ZHOUQM明天再加把

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