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多晶硅行业在线分析5种气体浓度

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发表于 2009-7-31 09:56:08 | 显示全部楼层 |阅读模式
请各位高手指点:5种气体STC TCS DCS H2 N2  有哪种在线分析仪表能够测的?
在线等
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发表于 2009-8-3 10:19:30 | 显示全部楼层
STC \TCS \DCS可使用在线分析检测,而 H2 、N2一般采用露点在线检测显示。当然,STC \TCS \DCS与H2作为同一反应或生成物可一起在线检测 !
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发表于 2009-8-4 20:52:33 | 显示全部楼层
H2检测装置最常见啊
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发表于 2009-8-4 21:03:50 | 显示全部楼层
VG  PrimaB 在线分析质谱仪 可以看看这个 呵呵
   上次我也买来着的 可是最后公司不批了
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