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怎样降低还原炉三氯氢硅和电的消耗...

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发表于 2009-7-15 19:13:26 | 显示全部楼层 |阅读模式
现在多晶硅市场不好.大家都在想办法降低还原炉三氯氢硅和电的消耗.请问各位大虾有什么好的建议?在此先谢谢哈
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发表于 2009-7-16 08:51:25 | 显示全部楼层
我们也一直在试验,想要寻找兼顾经济性和质量两方面的最优操作点.........可还没什么结果,各台炉子各条生产线都有差异
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发表于 2009-7-16 15:17:06 | 显示全部楼层
这个需要对还原炉进气配比、各喷嘴进气量、进气加量及电流加量等参数进行不断摸索,找到其最佳工艺点
由于国内基本都是新上装置,人员也是新手,要达到最优还需要一段路要走的
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发表于 2009-8-9 18:29:51 | 显示全部楼层
我们正在努力探索~
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发表于 2009-8-9 19:43:54 | 显示全部楼层
这个话题比较好,大家踊跃发言啊。我是觉得多晶硅还原生产优化是一项非常巨大且费神的工程,做了好多实验,摸索了很多方法,不怎么见效,电耗降下来了,可是TCS消耗却上去了,长的太快,表面又不平整,难。
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发表于 2009-8-9 22:09:37 | 显示全部楼层
我们的试验炉貌似已经有一些初步结果了...........但是还有很长的路要走.....
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发表于 2009-8-10 13:48:15 | 显示全部楼层
数据分析做了没? 还原电耗控制在多少? 生长周期呢? 生长周期短,你的电耗就相对低。
如果想深入探讨,就给我E-mail吧。
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 楼主| 发表于 2009-8-10 17:45:30 | 显示全部楼层
谢谢.我的邮箱[email=.zang721225@yahoo].zang721225@yahoo[/email].cn
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发表于 2009-8-10 18:21:40 | 显示全部楼层
电耗降下来了,可是TCS消耗却上去了
唔,还有这个现象,能具体说下吗?
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发表于 2009-8-10 23:01:41 | 显示全部楼层
电耗降下来了,可是TCS消耗却上去了
唔,还有这个现象,能具体说下吗?
eaglet1984 发表于 2009-8-10 18:21

                                
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以提高进料流率换取较低的单位质量电耗,其结果必然是TCS消耗变大
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