请教还原炉进料

发表于 2009-7-24 18:31:56

请教各位高手，三氯氢硅和氢气分别通入还原炉，配比控制如何实现的，多谢

发表于 2009-7-25 09:02:16

这个是很有经验的，光看仪表貌似不太准啊

发表于 2009-7-25 11:50:46

流量比值调节

发表于 2009-7-25 16:59:46

控制如何实现？？
不就是靠DCS系统，通过流量调节阀实现吗？

发表于 2009-7-25 20:52:20

恩，是通过气动调节阀配合质量流量计调节的，如果气动阀不准就用手阀

发表于 2009-7-26 16:29:14

通过挥发器的温度、压力调节

发表于 2009-7-29 19:34:14

现在很多的流量计都不是很准，尤其刚开炉的时候，非常的不准，要靠经验判断，也可以通过视镜观察气流扰动情况，和真正进炉子的温度

发表于 2009-7-29 20:09:11

配比是根据自己企业需要在挥发器中实现的，然后以一定的压力输送给还原炉。压力、流量自然是靠调节阀调节了。

发表于 2009-7-31 21:14:12

为何要三氯氢硅和氢气分别通入还原炉？
全氢鼓泡不好吗？
如分别入还原炉，配比还真不好控制呢

发表于 2009-8-1 15:22:35

楼上的，你们公司的氢气和STC是分别通入的？

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