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回收氢气中甲烷含量高

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发表于 2009-8-10 17:12:40 | 显示全部楼层 |阅读模式
近期分析干法回收氢气中甲烷含量达到了200ppm。请问各位大家,对产品质量有影响吗?甲烷是如何产生的?如何采取措施?谢谢大家!
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发表于 2009-8-10 17:57:07 | 显示全部楼层
呃...以前看到个俄罗斯的文献探讨各种氯硅烷中存在甲烷或者甲烷衍生物杂质的反应机理的...如果带甲烷的氢气进了还原炉,貌似是会生成碳化硅的,在硅棒中含有碳化硅杂质之后,经过铸锭送去切割,会损坏切割机吧....碳化硅硬度太高...
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 楼主| 发表于 2009-8-10 21:14:14 | 显示全部楼层
你好,米诺斯,谢谢。对多晶硅含碳量、电阻率有影响吗?你们公司有这种现象吗?
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发表于 2009-8-10 23:27:24 | 显示全部楼层
我们公司似乎没听说这种现象,我还没有了解过我们的氢气里有没有含碳杂质,但是我们是电解水制氢,氢气里应该不会有甲烷,至于电阻率,我认为碳化硅对多晶硅的电阻率应该没有什么影响,因为结成原子晶体后,所有电子都已经成键了,不会形成“施主”和“受主”.......
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发表于 2009-8-11 02:13:33 | 显示全部楼层
碳化硅对多线切割多晶硅硅锭有很大的负面影响  多线切割机的机理就是用钢线挤压配有PEG的碳化硅对硅锭进行切割   可以说明碳化硅的硬度非常大  在硅锭中形成硬点  会导致多线切割机切割硅锭时断线
楼主说的甲烷 会不会是因为活性炭不合格导致的? 疑惑
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发表于 2009-8-11 09:01:19 | 显示全部楼层
碳化硅对多线切割多晶硅硅锭有很大的负面影响  多线切割机的机理就是用钢线挤压配有PEG的碳化硅对硅锭进行切割   可以说明碳化硅的硬度非常大  在硅锭中形成硬点  会导致多线切割机切割硅锭时断线
楼主说的甲烷 会不 ...
驭风 发表于 2009-8-11 02:13

                                
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甲烷应该不会是由于吸附塔的活性炭不合格导致的...那种温度下,碳单质不可能跟氢气反应啊,要看氢气来源了...
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发表于 2009-8-11 02:13:00 | 显示全部楼层
楼主氢气回收过程中出现这么高的甲烷感觉很奇怪,不知道你们的工艺是怎么样的,根据我们的分析不可能出现甲烷的。如果甲烷含量太高就不仅仅会产生碳化硅,还会引起更多的反应,产生其它影响产品质量的产物,这个要非常重视。
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 楼主| 发表于 2009-8-11 09:36:05 | 显示全部楼层
我们的氢气也是电解水制氢,纯氢分析不含甲烷。但是还原炉尾气经回收后氢气中含有甲烷。
以下是我在论坛中看到关于CDI的描述,其中提到了氢中含有甲烷的问题。
“CDI的尾气回收系统,个人觉得几个地方值得注意的地方:
1,HCL-氯硅烷精馏塔分离效果,直接影响精馏。
2,吸附系统吸附后H2的CH4含量,影响质量。
3,氢压机系统的绝对稳定。”
现在我们采取了置换氢气、检查还原炉看是否渗油等措施。
各位,甲烷产生的机理是什么?新手上路,请大家帮忙!
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发表于 2009-8-11 10:01:17 | 显示全部楼层
还是不理解........在三十几度的温度下,氢气怎么可能跟活性炭反应生成甲烷呢....还原尾气如果有甲烷的话,那就是你们的三氯氢硅里面是不是含有烷烃类物质...可是如果是这样的话,你们的硅棒里面就已经含有碳化硅了啊...
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发表于 2009-8-11 11:26:27 | 显示全部楼层
我们的氢气也是电解水制氢,纯氢分析不含甲烷。但是还原炉尾气经回收后氢气中含有甲烷。
以下是我在论坛中看到关于CDI的描述,其中提到了氢中含有甲烷的问题。
“CDI的尾气回收系统,个人觉得几个地方值得注意的地 ...
huahuaniu 发表于 2009-8-11 10:01

                                
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如果你们系统没有大动作的话(如:更换的工艺管线上的阀门没有脱油,或者没有洗干净),就是肯定是还原炉的油引起的了,系统其他地方不可能引入有机物啊。
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