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多晶硅仪表选型

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发表于 2008-10-16 09:46:38 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问在多晶硅中精馏、还原工段中仪表的膜片、材质等有什么要求?
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发表于 2008-10-16 10:22:21 | 显示全部楼层
选择仪表,一般从几方面考虑!
1.温度
2.压力
3.介质化学性质,腐蚀性等其他性质,选择仪表时就要考虑耐腐蚀特材!
4.介质的粘稠度,粘度大的考虑测量流量的时候,用双法兰取压形式!
个人观点,紧供参考.
另外如果对介质的特性很了解的话,向厂家寻求帮助.他们很有经验!
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发表于 2008-10-16 10:27:15 | 显示全部楼层
同意2楼说法
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发表于 2008-10-16 11:13:12 | 显示全部楼层
这里面估计多晶硅行业的人不多,你把具体的工艺条件发上来大家帮你看看
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 楼主| 发表于 2008-10-16 12:45:30 | 显示全部楼层
主要就是工艺参数不全,造成选型困难
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发表于 2008-10-16 13:17:50 | 显示全部楼层
膜片材质是316L,主要是防止氯硅烷和氯化氢的腐蚀。
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发表于 2008-10-16 13:56:55 | 显示全部楼层
纯氯硅烷没什么腐蚀性,有水的情况下腐蚀性很强,因为水解会生成HCl。
干的HCl也没有腐蚀性,溶于水成盐酸以后会有很强的腐蚀性。
所以设计时要考虑到有水还是干燥的情况,一般来说可以用316不锈钢
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发表于 2008-10-16 14:17:07 | 显示全部楼层
最好把介质参数发上来,让大家帮你参考一下
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发表于 2008-10-16 14:53:09 | 显示全部楼层
设计院一般推荐316L。从7楼的解释中已经能够得出正确的结论了!
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发表于 2008-10-17 21:28:43 | 显示全部楼层
是西门子法或改良西门子法吧!
选用特种不锈钢(316之类的)的吧!
强度要求不高,但是质量一定要好,不会漏水漏气!


操作安全也很重要!

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