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多晶硅生产中回收氢气现在都采用什么方法净化呢?

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发表于 2009-6-10 12:22:41 | 显示全部楼层 |阅读模式
回收氢气现在都采用什么方法净化呢?目前常用的方法?
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发表于 2009-6-10 16:23:21 | 显示全部楼层
氢气经过CDI车间净化啊,大致的流程为 冷凝(除掉其中的氯硅烷),压缩,吸收塔吸收HCL,活性炭吸附出去最后剩余的HCL,氯硅烷等,此时回收的氢气纯度很高,可以直接作为还原的进料氢气。
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发表于 2009-6-11 11:16:53 | 显示全部楼层
楼主说的很正确,基本上就是这样,CDI出来的氢气可以直接用于还原炉的还原气体,纯度很高
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发表于 2009-6-11 16:17:32 | 显示全部楼层
还有一种逐步深冷法,不过现在好像不怎么常用了。就是先用零下20度左右的盐水和零下60度左右的氟利昂将氯硅烷冷凝下来,再用零下196度的液氮将HCl冷凝下来。剩下的就是氢气。
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发表于 2009-6-12 21:22:29 | 显示全部楼层
我们公司就是用CDI的技术!
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发表于 2009-7-3 11:38:04 | 显示全部楼层
我们公司也是用CDI的技术,有三套,分别叫大CDI和小CDI
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发表于 2009-7-4 11:13:33 | 显示全部楼层
还有一种逐步深冷法,不过现在好像不怎么常用了。就是先用零下20度左右的盐水和零下60度左右的氟利昂将氯硅烷冷凝下来,再用零下196度的液氮将HCl冷凝下来。剩下的就是氢气。
mao12345 发表于 2009-6-11 16:17

                                
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逐步深冷在我们的氯氢化里就有用到,氢气循环利用
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发表于 2009-6-11 16:17:00 | 显示全部楼层
活性炭高压低温吸附,出去的氢气纯度可达99.9999%
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发表于 2009-7-4 13:28:06 | 显示全部楼层
活性炭吸附出去最后剩余的HCL.具体用的是什么活性碳?煤质还是果壳类?
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发表于 2009-7-6 08:49:43 | 显示全部楼层
好像现在有个可以回收氯硅烷,同时也能除掉氯化氢,回收的氢气的纯度也可以直接回用的变压吸附技术。
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