关于三氯氢硅除硼方法

我们现在三氯氢硅除硼的方法是：采用二塔精馏流程，产品硼含量＜50ppb，但还是不能达到要求，现在考虑采用树脂或活性炭吸附，据有关资料介绍，经吸附处理后，产品硼含量＜10ppb，但可能带入其它杂质，欢迎大家讨论，请大家提出不同看法。

二塔，很厉害啊！
以前的工艺有过湿法除硼和添加络合剂除硼，吸附不了解~

用精馏方法既可，我们4塔可到1ppb一下，如果加上湿法除硼，效果更好

别走弯路
二塔的话B用精馏方法既可，我们4塔可到1ppb一下，如果加上湿法除硼，效果更好
zjiris 发表于 2009-8-18 19:25

                                
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色版主：如何判定《1PPM?用SIMS？GDMS?

用精馏方法既可，我们4塔可到1ppb一下，如果加上湿法除硼，效果更好
zjiris 发表于 2009-8-18 19:25

                                
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可否简要说明湿法除硼是采用氮气还是氢气？其湿度是如何保持恒定的？沉渣固形物如何分离？

我认为：湿法除硼难度很大，因为湿气体的湿度和量应与进料的硼含量有关，另外湿气体分布应很均匀，否则会造成三氯氢硅水解，堵塞设备。现在湿法除硼开得好的厂家不说没有，至少不多。

湿法除硼具体怎么除呢？是直接往塔里通湿氮还是在进塔之前设一个容器？