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硅芯晃动

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发表于 2009-7-1 11:15:44 | 显示全部楼层 |阅读模式
高压启动完毕到进料很长一段时间,硅芯都在不停的晃动,请高手分析下原因
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发表于 2009-7-1 19:15:27 | 显示全部楼层
进气量过大,炉内气体的湍流太激烈
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发表于 2009-7-1 19:27:19 | 显示全部楼层
在氮气环境下高压启动后,用氢气置换氮气可能流量大了。
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发表于 2009-7-2 15:12:24 | 显示全部楼层
1.石墨有问题,没有很好的接触(石墨-电极,石墨-籽晶棒)
2.进气量太大。
3.进气气孔的喷射角有问题
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发表于 2009-7-2 20:44:59 | 显示全部楼层
也有可能是电流没有跟上的,
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发表于 2009-7-7 13:43:16 | 显示全部楼层
晃动很正常。原因主要是在高压击穿过程中产生的力,通氢气的时候慢一点就行,没有问题的。如果质量差的话极可能会倒。
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发表于 2009-7-7 13:48:54 | 显示全部楼层
气孔角度。和摆放是否良好?
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发表于 2009-7-20 12:50:38 | 显示全部楼层
我们的硅芯也是一直晃动,长几天就会自己好的,这主要和硅芯的接触。电流的波动,气流的波动都有直接的关系
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发表于 2009-8-3 22:21:14 | 显示全部楼层
几位前辈请问为什么晃动会与电流波动有关呢?
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发表于 2009-8-4 11:29:13 | 显示全部楼层
难道是因为电流波动的时候硅棒内部温度不均衡,局部热应力造成晃动????这个热应力好像不该有这么大吧...
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