三氯氢硅合成开车条件

要实现三氯氢硅合成顺利开车必须具备哪些条件:工艺方面、设备方面、原辅材料方面和操作方面等。

原料：
1.HCL， 自己合成或是买盐酸脱水两者都有相应的设备，以后者为方便
2.在制备单元开车之前STC转化单元应该开车，以提供一定的HCL，尾气回收单元也应相应开车，为TCS合成提供HCL
3.硅粉检测
4.氢压机正常开车，冷冻机组正常开车，之后才是FBR的正常开车
5.设备的吹扫和测漏
6.旋风分离器