多晶硅的主体设备是什么

如题，我想问问多晶硅的主体设备有那些？因为我是个真正的小白，还望大虾们告诉下！比如，多晶硅拉伸用什么设备，提纯是用什么，现在用得最多的改良西门子法的三氯化硅的转化，或者氢气回收利用是什么设备。越详尽当然越好。谢谢

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现在国内上马的多晶硅项目主要采用西门子改良法，还原炉和氢压机是其中最大的主工艺设备...

精馏用的塔器是主要设备~

1.还原炉
2.氢压机（尾气，和TCS制备）
3.FBR
4.冷冻设备
5.精馏塔、碳塔
6.换热器
7.旋风分离器
8。袋式除尘器
9.各类泵