二氯二氢硅怎么处理？

发表于 2009-8-25 15:43:39

多晶硅还原和四氯化硅的氢化尾气中含有很多二氯二氢硅，它对多晶硅的沉积有什么影响不？
尾气回收中还需要考虑除去不？

发表于 2009-8-25 18:07:54

有影响据说是加快生长。

发表于 2009-8-26 09:34:39

如果含量在10%以下，可以不用考虑除去的，直接进还原反应就可，对反应速率是有利的。安全性也可以控制

发表于 2009-8-26 11:31:01

对反应速率有利，会不会使硅棒疏松？

发表于 2009-8-26 14:05:37

3# zjiris
基本上是这样。

发表于 2009-8-26 14:43:09

对反应速率有利，会不会使硅棒疏松？
eaglet1984 发表于 2009-8-26 11:31

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肯定有这种趋势，关键就是量有多少，其它参数如何调节

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