流化床生产多晶硅

发表于 2009-8-27 12:43:39

对流化床生产多晶硅的工艺了解很少，只知道生产过程安全系数不好控制。所以还没得到推广。求助大家坛友多多指教！！

发表于 2009-8-28 08:55:14

确实不好控制，REC有25年的流化床研发经验，开车试产十多天生产系统都会出现问题，导致参数不稳定紧急停车。别的就更不用说了。

发表于 2009-8-28 14:18:45

工况和参数控制方面，采用硅烷气流化床应该会比氯硅烷流化床难控制一些吧.........

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