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还原炉内产生硅尘

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发表于 2009-9-3 17:53:47 | 显示全部楼层 |阅读模式
如何避免还原炉内产生大量的硅尘,大家有什么好的方法没有呢?
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发表于 2009-9-3 20:48:05 | 显示全部楼层
那是不定型硅吧 没有用的东西。。
如果是银白色硅粉,恐怕是你的硅芯问题,,硅芯受污染了
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发表于 2009-9-4 09:21:31 | 显示全部楼层
是不是氢过量太多了?
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