如何设置SiHCl3的定点温度

在反应过程中，三氯氢硅的温度不断变化，怎么来确定它的定点温度。

你说的是合成时，热水调节阀投自动时设定的温度吧？这个按照工艺值设定就可以了，如果你的温度波动范围很大，超出许可值，就手动操作，稳定后再自动

一般都说280-320范围内，具体的应该根据你们公司的工艺条件来定了。

肯定是设置好参数后设备自身会调节的，手动调节比较滞后。