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三氯氢硅合成气中夹带的硅粉粒径

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发表于 2009-9-17 11:03:57 | 显示全部楼层 |阅读模式
三氯氢硅合成工艺中,合成气会夹带一定量的硅粉,需要被除去,一般通过旋风分离器和布袋过滤器,有的还采用湿法捕集的方法去除,
想问一下,合成气中的硅粉夹带量一般有多少,粒径大约为多少?有没有朋友做过粒径分析?旋风分离器下来的粒径和布袋过滤器拦截的粒径?
谢谢
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发表于 2009-9-17 16:50:26 | 显示全部楼层
夹带多少硅粉主要看你的气流速度了
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 楼主| 发表于 2009-9-18 08:51:31 | 显示全部楼层
2楼的,有机会到你们厂参观一下还行?
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