多晶硅还原过程一次性反应率和沉积速度的曲线

发表于 2009-9-18 12:05:07

求多晶硅还原过程一次性反应率和沉积速度随mole比的曲线

发表于 2009-9-20 11:35:50

这要花钱买的！各个还原炉制造厂家提供的曲线是不一样的，离开具体的设备来看一次转化率和这条曲线是没有意义的！

发表于 2009-9-20 17:08:42

自己慢慢调试择优啊，这东西确实是对着脚买鞋。

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