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还原炉产生不定型硅及解决办法

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发表于 2009-9-18 10:23:28 | 显示全部楼层 |阅读模式
还原炉产生不定型硅及解决办法
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 楼主| 发表于 2009-9-18 10:24:45 | 显示全部楼层
最近我们的还原炉老是严重产生不定型硅,请问高手们这个如何能解决
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发表于 2009-9-18 11:29:33 | 显示全部楼层
提高冷却水的温度
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发表于 2009-9-18 11:45:01 | 显示全部楼层
原因:由于还原炉内温度过低发生热分解反应了
措施:减小冷却水量
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发表于 2009-9-21 12:04:46 | 显示全部楼层
将炉内的温度提高一点
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发表于 2009-9-21 15:47:32 | 显示全部楼层
在炉内有TCS时,炉筒水温要高一些,炉内温度也要高些。
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