请教还原炉尾气？

没反应完的三氯氢硅肯定是有的，但是四氯化硅应该更多，因为在还原炉的温度条件下是极易生成四氯化硅的，尤其在沉积的早期阶段，四氯化硅的比例很高，棒长粗后，四氯化硅的比例会逐渐下降一点
Minos 发表于 2009-8-21 17:53

                                
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没有反应完的SIHCL3更多一些啊。。。。

没有反应完的SIHCL3更多一些啊。。。。
wtuvfhpl 发表于 2009-8-21 20:56

                                
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嗯...还要看具体工况而定
Si元素转化率差不多20~30%，每吨多晶硅产12~15吨四氯化硅，剩下的大部分都是三氯氢硅

11# wtuvfhpl
显然是 sihcl3 多一些的，

请教个问题，还原炉出口尾气成分在线分析吗（计算转换率，优化控制）？