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硅烷法多晶硅工艺

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发表于 2009-9-24 14:40:43 | 显示全部楼层 |阅读模式
哪位大侠可以分享下硅烷法多晶硅生产工艺?
现在国内都有哪些设计院设计?
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发表于 2009-9-24 17:34:33 | 显示全部楼层
国外也就有几家真正地用硅烷法,国内还有设计院设计?貌似前面有过两三个关于硅烷法的帖子,楼主可以去看看
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发表于 2009-9-25 17:29:26 | 显示全部楼层
简单说一下,涉及保密东西,不细说。TCS和H2在一定条件下,生成高纯硅,,尾气成分包括H2,HCL,STC,TCS等。经过分离,TCS在回到反应炉反应。H2也回收循环利用。STC加氢转化为TCS继续利用。。HCL吸收利用。
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发表于 2009-9-27 09:45:09 | 显示全部楼层
当然是硅烷法了,原料就是TCS,三氯硅烷嘛,江苏中能就全部是用TCS做的啊。不过,我们没它那么奢侈,我们TCS是自己先用硅粉氯化,得到TCS.直接用TCS原料容易受制于上游厂家。
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发表于 2009-9-27 09:53:19 | 显示全部楼层
楼主,我查了下资料,你说的硅烷法是不是指四氯硅烷啊?那个几乎没人用啊,生长速率低,一次转换效率低,能耗太高!!可能概念理解偏了,我说的硅烷指TCS。这下应该不会有疑问了吧。。。。
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 楼主| 发表于 2009-9-27 10:31:16 | 显示全部楼层
晕!!!
这是硅烷法?
狂笑!
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