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还原炉炉筒变黑 变黄

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发表于 2009-9-20 10:42:29 | 显示全部楼层 |阅读模式
还原炉炉筒变黑  变黄 是什么原因啊   还有  那些  黑色 和黄色的东西是什么
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发表于 2009-9-20 12:18:38 | 显示全部楼层
黑的应该是硅粉或者无定形硅,黄的应该是氯硅烷水解物
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发表于 2009-9-20 17:07:21 | 显示全部楼层
黑色应该是无定形硅。
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发表于 2009-9-20 22:01:35 | 显示全部楼层
怎么会在炉筒上沉积呢?炉筒温度太高了?
黑色应该是无定形硅,是由于温度过低导致的~
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发表于 2009-9-21 11:55:37 | 显示全部楼层
黑的输无定型硅   黄的是硅粉  黑的  温度控制高一点就可以消除
可对于黄的我真不知道怎么样才能消除   那位大虾指点一下啊!
lizhaoby@163.com
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发表于 2009-9-27 12:24:18 | 显示全部楼层
黄的应该是聚合物吧,原因也是温度过低引起的。
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发表于 2009-10-8 21:35:34 | 显示全部楼层
我的意见
黑的是无定形硅 可能是炉壁清洗不干净?
黄的是氯硅烷水解物 可能是底盘漏水吧?你确定是炉筒?
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 楼主| 发表于 2009-10-9 18:16:15 | 显示全部楼层
我的意见
黑的是无定形硅 可能是炉壁清洗不干净?
黄的是氯硅烷水解物 可能是底盘漏水吧?你确定是炉筒?
jianyu243 发表于 2009-10-8 21:35

                                
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  炉筒   底盘上都有   黄色的东西      有时候整个炉子是黄的   有时候整个炉子是黑的
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