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硅棒发白的原因

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发表于 2009-7-9 04:49:55 | 显示全部楼层 |阅读模式
在硅棒出炉后发现在横梁处有发白现象,是什么原因造成的呢
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发表于 2009-7-9 08:20:15 | 显示全部楼层
横梁处怎么会

有发白现象,
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发表于 2009-7-9 09:06:25 | 显示全部楼层
见过发黑的,没见过发白的
白色很可怕,你的置换气是不是有问题
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发表于 2009-7-14 09:29:26 | 显示全部楼层
会不会是你置换没置换干净,横梁上有残余的TCS,然后开炉氧化了.
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发表于 2009-7-21 11:31:48 | 显示全部楼层
发白的东西应该是二氧化硅,要么是置换气不合格,纯度不够其中含氧或水分;要么是置换时间短,还有残余的三氯氢硅开炉后被氧化、
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发表于 2009-7-21 16:28:48 | 显示全部楼层
发白的东西应该是二氧化硅  学习了
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发表于 2009-7-21 17:07:54 | 显示全部楼层
进料太多,TCS和H2比例太大
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发表于 2009-7-22 11:24:57 | 显示全部楼层
进料太多,TCS和H2比例太大
南希 发表于 2009-7-21 17:07

                                
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这个比例太大,会发白?为什么?
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发表于 2009-7-21 17:07:00 | 显示全部楼层
应该是SIO2.密封不严实、置换不彻底、反应气中含有水分等因素造成的
jiangjiagou 发表于 2009-9-5 11:46

                                
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反应气中含有水分???这个设想有点夸张了把!  露点检测是最基本的东西好不啊
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发表于 2009-9-5 11:46:21 | 显示全部楼层
不是带水,带水生产时炉子会出现雾状  但肯定是被氧化  应该是置换不合格??? 密封性不好???或者其他!
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