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关于多晶硅生产流程中的吸附工艺

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发表于 2009-9-17 21:18:50 | 显示全部楼层 |阅读模式
三氯氢硅的提纯主要靠精馏工艺,吸附法只能作为纯化的辅助手段。吸附法不是什么新工艺,在俄罗斯和美国提供的工艺包中在精馏后端均有吸附法除硼装置(Boron Removal)。吸附法在工艺上很简单,关键是吸附剂,国外各个厂家所使用的吸附剂配方各不相同,均为绝密,一般工艺包的提供方均有这方面的技术,但是要另外花钱购买的!我们购买了美国的吸附剂配方、吸附剂生产及再生工艺花了很多钱,只能单独交流!另外,美国市场上有吸附剂公开出售,大约4万美金/吨,但是吸附装置的设计很有讲究,设计得好,吸附剂可以用半年以上。设计不好,吸附剂使用一个月就报废了!
http://blog.sina.com.cn/polysilicontech
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发表于 2009-10-15 17:20:26 | 显示全部楼层
本帖最后由 hht666 于 2010-9-28 10:52 编辑
这个问题很重要,一直搞不明白啊
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