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多晶硅成晶性差的原因是什么?

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发表于 2009-10-27 18:00:09 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位高手,最近有客户反应我们有一批多晶硅成晶性太差,拉不成单晶硅。多晶硅腐蚀后金属光泽差,仍然发乌。有人说是多晶硅氧化了,这种说法准确吗?请教各位,发生上述现象的原因是什么?请不吝赐教!小弟多谢了!
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发表于 2009-11-3 20:54:19 | 显示全部楼层
杂质含量太高。是不是你们精馏产品中B、P含量太高了
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发表于 2009-11-5 09:54:54 | 显示全部楼层
是温度控制不均匀,里面有非晶夹层了
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发表于 2009-11-5 10:40:17 | 显示全部楼层
拉直不了单晶,可能是杂质含量高了吧,检测下杂质含量是否超标,另外腐蚀后发乌,是不是腐蚀程度不够,或在水洗的时候操作不规范,接触空气氧化了。
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发表于 2009-11-5 16:32:11 | 显示全部楼层
可能有氧化夹层造成的
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发表于 2009-11-6 08:56:58 | 显示全部楼层
反应时温度控制过高,温度不均匀。
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