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多晶硅进料硅粉粒径的控制是多少

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发表于 2009-10-9 11:46:53 | 显示全部楼层 |阅读模式
制造多晶硅的原料是工业硅粉,那么在改良西门子法中对于硅粉进料的粒径是有要求的,大家能说说这个粒径控制在什么的区间是合适的?为什么要在这个区间进行控制?请大家多多交流,从增大表面积以及表面活性等发面发表意见。
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发表于 2009-10-9 18:57:53 | 显示全部楼层
一般的多晶硅加压合成控制在80-120目之间
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 楼主| 发表于 2009-10-10 14:21:59 | 显示全部楼层
为什么要控制在80-120目,有什么理由么
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发表于 2009-11-9 08:50:04 | 显示全部楼层
3# trifle 硅粉粒径太大不易反应,且反应不完全,太小被气流吹走。
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发表于 2009-11-9 21:18:32 | 显示全部楼层
呵呵,主要是根据你袋式过滤器来选型的
如果硅粉都跑到后续系统里,你想想会有什么后果
堵塞时一定的
另外就是考虑流化床反应
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发表于 2009-11-9 21:48:13 | 显示全部楼层
一般的多晶硅加压合成控制在80-120目之间
winer.LIU 发表于 2009-10-9 18:57

                                
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那是多少微米?
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发表于 2009-10-9 18:57:00 | 显示全部楼层
目数 粒度um
5 3900
10 2000
16 1190
20 840
25 710
30 590
35 500
40 420
45 350
50 297
60 250
80 178
100 150
120 124
140 104
170 89
200 74
230 61
270 53
325 44
400 38
460 30
540 26
650 21
800 19
900 15
1100 13
1300 11
1600 10
1800 8
2000 6.5
2500 5.5
3000 5
3500 4.5
4000 3.4
5000 2.7
6000 2.5
7000 1.25
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发表于 2009-11-12 09:53:48 | 显示全部楼层
粒度对照表
Particle Size Conversion Chart
B.S.S
MESH        A.S.T.M.
MESH        TYLER
MESH        I.S.S
MESH        MICRON        IN MM
英国标准筛         美国标准筛         泰勒标准筛         国际标准筛         微米对照         毫米对照
4        5        5        —        4000        4.00
6        7        7        280        2812        2.81
8        10        9        200        2057        2.05
10        12        10        170        1680        1.68
12        14        12        150        1405        1.40
14        16        14        120        1240        1.20
16        18        16        100        1003        1.00
18        20        20        85        850        0.85
22        25        24        70        710        0.71
30        35        32        50        500        0.50
36        40        35        40        420        0.42
44        45        42        35        355        0.35
52        50        48        30        300        0.30
60        60        60        25        250        0.25
72        70        65        20        210        0.21
85        80        80        18        180        0.18
100        100        100        15        150        0.15
120        120        115        12        125        0.12
150        140        150        10        105        0.10
170        170        170        9        90        0.09
200        200        200        8        75        0.075
240        230        250        6        63        0.063
300        270        270        5        53        0.053
350        325        325        4        45        0.045
400        400        400        —        37        0.037
500        500        500        —        25        0.025
625        625        625        —        20        0.020
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发表于 2009-11-12 13:47:36 | 显示全部楼层
一般还是80-120吧,主要还是考虑在反应炉内系统压力能把硅粉吹起来反应,以及反应速度的控制,目数大反应太快且容易带入后续系统
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