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大化工论坛»大化工论坛 › 专业技术分类 › 多晶硅新能源 › H2、SiHCl3的质量指标
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H2、SiHCl3的质量指标

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发表于 2009-11-16 21:53:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
1、  请问各位，你们H2、SiHCl3的质量指标分别是多少？大家可以讨论讨论。
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发表于 2009-11-17 02:24:34 | 显示全部楼层
氢气可能主要是含水量吧，三氯氢硅应该就是里面的P，B杂质和其他成分吧！
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