三氯氢硅合成收率与哪些因素有关

发表于 2009-3-28 16:22:32

请教大家，三氯氢硅合成的收率与哪些因素有关，怎样提高三氯氢硅的收率？

发表于 2009-3-28 16:47:24

影响工艺的因素比较多，本人认为主要还是要控制好合成塔的的温度和压力，连续反应时波动不能太大。另外选择合适的硅粉也很重要，如粒度是否符合工艺标准要求等等。后续的分离提纯工艺也要到位，分离效果的好坏也直接影响到收率。楼主问的大约就是这些吧。

发表于 2009-3-28 16:49:02

查找文献说，水的存在对三氯氢硅的收率有很大影响，有利于减少四氯化硅的产生。

发表于 2009-3-28 16:53:49

合成炉温度、硅粉粒度、进气速度、气体分布

发表于 2009-3-28 19:05:11

合成炉的温度、压力,冷却水的温度和压力,硅粉的加入量等。

发表于 2009-3-29 16:45:02

很多很多....
水.,温度.流速,流量. HCL含水量. HCL 纯度.设备问题.工艺问题.操作问题.硅粉质量.很复杂, 具体问题需要具体对待.

发表于 2009-3-30 17:33:23

在三氯氢硅的合成过程温度对于生产起到了制观重要的作用!
必须保持在280到325度,在350以上时合成就会四氯化硅!

发表于 2009-3-30 20:08:27

合成的温度，压力，HCL的温度，压力，进气速度，流量硅粉层的厚度就是压差都会影响反应物的浓度，还有反应物的体积和生成物的体积变化都对收率有影响，当然还有硅粉的目数，气体的分布，催化剂等。。。。。我们没有用催化剂，也能达87以上！

发表于 2009-3-30 21:32:45

不用催化剂还能达到85？这个玩笑打了点吧？

发表于 2009-3-31 17:24:31

温度，压力，相态，水温，进气速度，空间速度等等……

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