多晶硅工艺【每日一题】2011.11.29

本帖最后由 yizhuxuan 于 2011-11-29 23:46 编辑
今日【每日一题】关于多晶硅生产方法：
1、目前使用最广的生产多晶硅的方法是_____________。
备注：
1. 请大家隐藏回复！
隐藏方法地址
，
[color=]不设置回复可见作删除处理；

2. 参与者必有2点财富奖励，回答正确即有5点财富奖励，作出简要分析者可酌情加1-2财富；
3. 回复后请勿编辑，编辑后只能获得2点财富奖励；
4. 每日一题旨在提高大家的积极性，一起学习熟悉多晶硅生产中的一些知识，提倡大家找度娘问亲友，但谢绝在本主题下回帖讨论。
5. 答题截止时间至当天夜里12点，敬请关注。



改良西门子法。
其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅，生成多晶硅沉积在硅芯上。改良西门子工艺是在传统西门子工艺的基础上，同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4等副产物以及大量副产热能的配套工艺。目前世界上绝大部分厂家均采用改良西门子法生产多晶硅。

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