大化工论坛

 找回密码
 立即注册

QQ登录

只需一步,快速开始

微信登录,快人一步

手机号码,快捷登录

手机号码,快捷登录

开启左侧

多晶硅生产中还原车间紧急停车的两种方案

[复制链接]
发表于 2009-11-27 13:51:11 | 显示全部楼层 |阅读模式
多晶硅生产中还原车间紧急停车分两种情况:
A、A 停氢
1 还原炉和氢化炉的窥视孔的视镜破裂
2 炉体上法兰盘发生泄漏
3 冷却水进入炉体
4炉体冷却水和电极冷却水突然没有流量
5 某台设备的DCS发生故障
6 拉弧,物料发生外漏
7 全厂停电
8 CDI故障不能提供H2

此情况停车操作过程:
断电→断SiHCl3和H2→关闭到CDI的阀门→开VG1→开N2置换

B 需要停氢
1 硅棒倒棒
2 炉体冷却水和电极冷却水的温度很高,但又不能及时查找原因
3 拉弧,物料无外漏
4 SiHCl3供料不足

此情况停车操作过程:
断电→断SiHCl3→降低H2流量,使硅棒温度降到500℃→关闭到CDI的阀门→开VG1阀门→断H2-→开N2置换
回复

使用道具 举报

 楼主| 发表于 2009-11-27 13:54:05 | 显示全部楼层
大化工的各位前辈,大家好!
晚生刚到此宝地,还望前辈们指点,提拔,共同分享,一起进步!
回复 支持 反对

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册 |

本版积分规则

QQ|Archiver|手机版|小黑屋|大化工论坛 ( 鲁ICP备12015736号-12 )

GMT+8, 2024-12-25 10:10 , Processed in 0.048544 second(s), 19 queries .

Powered by Discuz! X3.4

Copyright © 2001-2023, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表