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多晶硅生产中几个地方用到高纯氢气?

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发表于 2009-6-10 11:34:18 | 显示全部楼层 |阅读模式
因为不懂这个行业,所以问问。
哪一步需要用到高纯氢气?一般都是电解水制的氢气吗?氢气达什么标准?听到有人说氢气还要回收提纯,又是怎么回事啊?
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发表于 2009-6-11 17:10:01 | 显示全部楼层
还原和氢化都要用高纯氢气,一般都是用电解制氢,露点零下65度以下,杂质含量3个PPM以下。由于转化率比较低,氢气大部分都浪费了,所以为了降低成本现在大多采用CDI回收技术。
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发表于 2009-6-12 11:18:54 | 显示全部楼层
除了还原和氢化外,尾气回收单元设备装置的氢气置换,吸附塔设备的再生也需要高纯氢气,在尾气回收单元开车前,高纯氢气的用量是很大的。
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发表于 2009-6-12 11:49:43 | 显示全部楼层
LS说的很好
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发表于 2009-11-27 15:15:31 | 显示全部楼层
氢气的指标
电解氢:纯度99.8%
回收氢:纯度99.9%,
杂质含量:N2<10vppm  HCl<1vppm  SiH2Cl2<1vppm
SiHCl3<1vppm  SiCl4<1vppm
还原车间用氢除了和三氯氢硅混合外,还有视孔上用氢,防止硅油模糊镜片;
氢化单元要用氢,和四氯化硅混合,还有单炉停炉时的置换氢;
CDI那边也要用到。
数据来的不容易,加点分啊,谢谢了。
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