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停炉新发现

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发表于 2009-12-8 21:09:13 | 显示全部楼层 |阅读模式
最近硅棒出炉时,总会发现石墨座和陶瓷环的 一侧会有褐红色的物质生成,陶瓷特严重,有的都渗入陶瓷内,请教各位坛友,这种褐红色的东西是什么物质?什么原因造成?而且分布也基本是在相同位置。
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发表于 2009-12-8 22:39:46 | 显示全部楼层
那东西可能是因为石墨座子比较潮湿的原因,沉积过程中会在其上面生成一层SiO2层
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发表于 2009-12-9 09:12:49 | 显示全部楼层
是不是因为你们那个气液混合气喷入炉子之前没有汽化彻底,温度低了,使三氯氢硅液体进入炉子,从而在较高温度下生成你所说的褐红色物质。我们有过这样的情况哦。
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