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SiHCl3中杂质硼的分析方法

发表于 2009-12-2 15:48:22 | 显示全部楼层 |阅读模式

请问多晶生产过程中，SiHCl3中杂质硼的含量该怎样检测分析？谢谢

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发表于 2009-12-2 16:33:20 | 显示全部楼层

有的厂家好像用ICP-MS

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发表于 2009-12-2 19:15:10 | 显示全部楼层

应该是区熔检验吧，是运用挥发分凝等物理方法，定量分析多晶硅中磷硼的含量的

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楼主| 发表于 2009-12-4 11:02:29 | 显示全部楼层

3# rammstein
请问能说详细点吗？

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发表于 2009-12-9 15:21:36 | 显示全部楼层

质谱分析，ICP-MS，

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